NSRは生き続けます。
現在お使いのNSRに機能追加する事でアップグレードができます。
透明基板直視型アライメント（GS-FIA）
ハード改造不要な透明基板対応裏面アライメント
ニコンテックでは従来のFIAセンサーを使用して、透明基板用の裏面アライメントマークを読み取る「GS-FIA*」を開発しました。
GS-FIA はハード改造の必要がないため低価格・短納期での対応が可能です。
* GS-FIA（Glass Substrates-Field Image Alignment）
対象装置
NSR-4425i／NSR-2205i12D／NSR-2205i14E
近赤外線透過型裏面アライメント（IR-FIA）
IR-FIAの搭載により基板両面のアライメントが可能に！
ニコンテックでは従来のFIA機構に、近赤外光でのアライメント機能を追加した「IR-FIA*」を開発しました。
IR-FIAでは基板裏面深層または裏面に形成されたアライメントマークを表面より透過光にて観察し、従来のFIAアルゴリズムにてアライメントを行います。
* IR-FIA（Infrared-Field Image Alignment）
主な特徴
-
近赤外光による透過型の裏面アライメント
Si基板の深層または裏面に形成されたマークを表面から検出 -
マークに合わせた切り替え方式
切り替え方式により、表面マークはFIA、裏面マークはIR-FIAによるアライメントが可能
対象装置
NSR-SF100／SF110／i12／i11／4425i
結晶格子合わせ（FIAエッジ計測）
FIAエッジ計測により、高精度の『結晶格子合わせ』を実現
ニコンテックでは、従来のFIAセンサーを使用して、ウェハエッジを計測する「FIAエッジ計測」を開発しました。
このFIAエッジ計測により、以下の機能を実現しました。
- 外形基準プリアライメント
- 結晶格子合わせ
対象装置
NSR-2205i11／NSR-2205i12／NSR-4425i
高段差・反り・厚膜対応露光（段差AF）
ショット内の高段差、反りウェハ、厚膜レジスト等の工程で、精度よくフォーカスを合わせて露光出来る機能を提供します。
主な特徴
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計測ショットで高さ計測（計測ショット選択可能）
段差を避ける位置指定も可能：高段差対応 -
近似面算出
平面／2次近似から選択：反り対応 -
近似面をターゲットに露光
オフセットによる補正も可能：厚膜対応
対象装置
NSR-2205i11／NSR-2205i12／NSR-4425i
空調・温調機用冷凍機の新冷媒（R407C）化
ニコン製露光装置には、日本国内のフロン排出規制法（旧フロン法・破壊法）で定義されるフロン類が使用されています。
一部旧型製品の空調・温調機用冷凍機で使用の冷媒は従来R22（HCFC）を使用しています。
オゾン層を破壊する物質に関する「モントリオール議定書（1987年）」を受け、R22は削減/全廃との方針（経済産業省、環境省）が出されております。
R22を使用している装置の冷凍機の新冷媒（R407C（HFC））対応への置き換えを承っています。
NEST化（ワークステーションの更新）
ニコン製露光装置に標準搭載のワークステーションのディスコン対応で代替となるコンピュータの置き換えを承っています。
- 既存のOSインターフェイスをそのまま利用可能
- Windowsバックアップ、ユーティリティの追加
- 使い慣れたWindowsオペレーションも可能
- 高い耐障害：ミラーリング、ホットスワップ交換ディスク
EVS／EWS
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EVS（Expose Viewer System：露光モニターシステム）
NSRログデータを処理し、ウェハ露光状態時のウェハステージ（Zposition、Tilt）とEGA計測結果を表示するシステムです。EVSデータにより、Focusと合わせの露光状態把握が出来、ウェハ検査にも活用可能です。 -
EWS（Expose trend Watcher System：露光データ管理システム）
露光ログデータとEVSの露光処理データを用いて統計的解析を行うシステムです。
生産、品質、稼働の各データ解析により、NSRの活用に貢献します。
対応ウェハ変更改造（サイズ・材質）
お客様の製品に応じてウェハサイズや材質の変更、改造を承ります。
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