半導体関連装置
サポート対応装置
| NSR-1505G6シリーズ | NSR-1505i6A | NSR-1505G7シリーズ | NSR-1505i7シリーズ |
| NSR-1755G7シリーズ | NSR-1755i7シリーズ | TFH-1 | NSR-1755i8シリーズ |
| NSR-2005i8シリーズ | NSR-2005G8シリーズ | NSR-2005i9シリーズ | NSR-2005i10シリーズ |
| NSR-2205i11シリーズ | NSR-4425i | NSR-2205i12シリーズ | NSR-TFHi12シリーズ |
| NSR-2205EX12B | NSR-2205i14D | NSR-TFHi14DL | NSR-2205i14E |
| NSR-2205i14E2 | NSR-TFHi14E | NSR-2205EX14C | NSR-TFHEX14C |
| NSR-2205EX14D | NSR-S202A | NSR-S203B | NSR-S204B |
| NSR-S205C | NSR-S206D | NSR-S207D | NSR-S208D |
| NSR-S210D | NSR-S305B | NSR-S306シリーズ | NSR-S307E |
| NSR-S308F | NSR-S310F | NSR-S320F | NSR-S322F |
| NSR-S610C | NSR-S620D | NSR-S621D | NSR-S622D |
| NSR-SF100 | NSR-SF110 | NSR-SF120 | NSR-SF130 |
| NSR-SF140 | NSR-SF150 | NSR-SF155 | NSR-SF200 |
| Litho Booster |
| NSR-1505G6シリーズ | NSR-1505i6A |
| NSR-1505G7シリーズ | NSR-1505i7シリーズ |
| NSR-1755G7シリーズ | NSR-1755i7シリーズ |
| TFH-1 | NSR-1755i8シリーズ |
| NSR-2005i8シリーズ | NSR-2005G8シリーズ |
| NSR-2005i9シリーズ | NSR-2005i10シリーズ |
| NSR-2205i11シリーズ | NSR-4425i |
| NSR-2205i12シリーズ | NSR-TFHi12シリーズ |
| NSR-2205EX12B | NSR-2205i14D |
| NSR-TFHi14DL | NSR-2205i14E |
| NSR-2205i14E2 | NSR-TFHi14E |
| NSR-2205EX14C | NSR-TFHEX14C |
| NSR-2205EX14D | NSR-S202A |
| NSR-S203B | NSR-S204B |
| NSR-S205C | NSR-S206D |
| NSR-S207D | NSR-S208D |
| NSR-S210D | NSR-S305B |
| NSR-S306シリーズ | NSR-S307E |
| NSR-S308F | NSR-S310F |
| NSR-S320F | NSR-S322F |
| NSR-S610C | NSR-S620D |
| NSR-S621D | NSR-S622D |
| NSR-SF100 | NSR-SF110 |
| NSR-SF120 | NSR-SF130 |
| NSR-SF140 | NSR-SF150 |
| NSR-SF155 | NSR-SF200 |
| Litho Booster |
太字は「旧型製品」です。
FPD関連装置
サポート対応装置
| FX-501Dシリーズ | FX-601Fシリーズ | FX-701M | FX-702J |
| FX-801M | FX-801M2 | FX-803M | FX-901N |
| FX-903N | FX-21S | FXｰ55S | FX-61S |
| FX-63S | FX-65Sシリーズ | FX-66Sシリーズ | FX-67Sシリーズ |
| FX-68Sシリーズ | FX-6AS | FX-81S | FX-83S |
| FX-85S | FX-86Sシリーズ | FX-101S | FXｰ103Sシリーズ |
| FX-501Dシリーズ | FX-601Fシリーズ |
| FX-701M | FX-702J |
| FX-801M | FX-801M2 |
| FX-803M | FX-901N |
| FX-903N | FX-21S |
| FXｰ55S | FX-61S |
| FX-63S | FX-65Sシリーズ |
| FX-66Sシリーズ | FX-67Sシリーズ |
| FX-68Sシリーズ | FX-6AS |
| FX-81S | FX-83S |
| FX-85S | FX-86Sシリーズ |
| FX-101S | FXｰ103Sシリーズ |
太字は「旧型製品」です。
計測・検査装置
サポート対応装置
| AMI | AMI3000 | AMI3000IS | AMI3000IS-Ⅲx |
|---|---|---|---|
| AMI3100 | AMI3300 | AMI3400 | |
| AMI3500NFM | NFDM3500 | NFDM3600 | |
| AMI5000 | AMI5600 | AMI5600IS | |
| AMI5700 | |||
| OST | OST3200 Edge Station | APM3300 | OST3000 |
| OST3100 | OST3200 | ||
| SIS | N-SISV | N-SIS8 | N-SIS9 |
| AMI | |
|---|---|
| AMI3000 | AMI3000IS |
| AMI3000IS-Ⅲx | AMI3100 |
| AMI3300 | AMI3400 |
| AMI3500NFM | NFDM3500 |
| NFDM3600 | AMI5000 |
| AMI5600 | AMI5600IS |
| AMI5700 | |
| OST | |
| OST3200 Edge Station | APM3300 |
| OST3000 | OST3100 |
| OST3200 | |
| SIS | |
| N-SISV | N-SIS8 |
| N-SIS9 | |
太字は「旧型製品」です。
お問い合わせ
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