縮小投影露光装置
MEMSステッパーシリーズ
MEMSデバイスの多様化に対応
主な特徴
- 2～6インチウェハ対応機、6～8インチウェハ対応機をラインナップ
- MEMS用R&D用途からプロダクションまで一台での対応が可能
- 様々な基板サイズ／形状、接着、変形などご要望に合わせてカスタム対応が可能
- 深いDOFで厚膜に対応
- IR、裏面アライメントが可能（オプション）
- イージーインストール、スマートオペレーション
主な仕様
表内を左右に動かして見る事ができます。
| 投影レンズ | i04 NEW |
i05 NEW |
i10 | i06 | ghi06 | h04 | h04A |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 本体 | NES1 (≦ 6”) / NES2 (6” & 8”) | ||||||
| 波長 (nm) | 365 (i-line) |
365-436 (ghi-line) |
405 （h-line） |
||||
| 解像力 L/S (μm) | 1.0 | 1.2 | 3.7 | 2.0 | 2.3 | 2.0 | 1.6 |
| ベストパフォーマンス 解像力 L/S (μm) *1 |
0.8 | 1.0 | 2.6 | 1.4 | 1.7 | N/A | |
| 焦点深度 (μm) *2 | 6 | 10 | 74 | 22 | 16 | 10 | |
| 露光フィールド (mm) | 15×15 | 22×22 | 44×44 | 22×22 | 15×15 | ||
| 照度 (mW/cm2) | 1000 | 500 | 300 | 800 | 1400 | 800 | |
| 重ね合わせ精度 (μm) (M+3σ) |
0.3 | 0.3 | 0.6 | NES1:0.3 NES2:0.35 | 0.3 | ||
| ウェハサイズ | ≦ 6” | 6” & 8” | 8” | 6” & 8” | ≦ 6" | ||
| スループット 8” (WPH) (100 mJ/cm2) |
N/A | 45 | 71 | 45 | 48 | N/A | N/A |
| スループット 6” (WPH) (100 mJ/cm2) |
62 | 81 | N/A | 82 | 87 | 60 | |
表内を左右に動かして見る事ができます。
【注記】
- ※1 最良のプロセスコンディションの場合
- ※2 最良の条件で算出した値です
測定器
自動マスク寸法測定機 AMFiM
主な特徴
- 本製品は、9インチ以下のフォトマスクの線幅と座標の自動測定ができます。
- 高精度測定ステージや独自開発の光学系を採用することにより、簡単操作で高い再現性を得られます。
- i線LED光源の採用により、メンテナンスが容易です。
主な仕様
| 測定対象マスク | 9インチ以下 |
|---|---|
| 対象線幅 | 0.5～30μm（視野内計測） |
| 30～500μm（ステージ移動計測） | |
| 線幅測定再現性 ※1 ※2 | 3σ≦5 nm |
| 座標測定再現性 ※1 | 3σ≦15 nm |
| スループット ※1 | 線幅測定：8分30秒以下 |
| 座標測定：13分以下 |
【注記】
- ※1 弊社指定の測定条件にて
- ※2 線幅30μｍ以下にて
両面座標測定機 BSM
本製品は、ウェハ表裏両面のパターン間の座標偏差を測定します。
（TAIKO(※)ウェハ対応可能）
※TAIKOは株式会社ディスコの登録商標です。
主な特徴
- 測定再現性：3σ ≦ 100 nm
- 試料サイズ：～Φ200mmウェハ
特殊機器
300mmウェハプロセス FIMS評価用治具 00MK036B
高い互換性でFOUPとLoadportをつなぐラインの立ち上げ基準治具として位置付けられ様々なメーカーやウェハプロセスの現場で活躍。
使いやすさと迅速なアフターサービス、多数の販売実績で多くのユーザー様から厚い信頼をいただいています。
主な特徴
- プロセスのレジストレーションピン・ラッチキーの位置評価を行います。
- コーナーエッジを切り欠き、ロードポートカバーを付けたままで評価可能です。
- クリーンルーム仕様の専用ケース付き。
リセール装置
“安心” ”信頼” そして ”生産性向上” それがニコンテックの中古ステッパー
「リセールNSR」です！
中古装置の購入と販売
ニコンテックが責任をもって、NSR中古装置の販売をします。装置構成から仕様、稼動まで、「NSRシリーズ」のすべてを熟知したニコンテックですから安心です。
買取りおよび販売（オーバーホール、カスタマイズ、据付け）、さらにはお引き渡し後のメンテナンスまで、責任をもってお引き受けいたします。
中古装置情報は、ニコングループの海外現地法人を結んだグローバル・ネットワークを活用して、高精度な情報を収集しています。お気軽にご相談ください。
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